真空测量

        真空室内光谱测量需要两个过真空装置,分别配合200微米和600微米芯径光纤使用,同时真空室内需要一根反射探头,室外需要一台氘卤钨组合光源以及一台 AvaSpec 光谱仪,可以搭建一套真空测量设备。

典型应用领域

镀膜监控 等离子体监控
等离子体监控

订购信息

AvaSpec—Vacuum

谱仪

AvaSpec-ULS2048CL-EVO

 UA光栅 (200-1100nm),

50 μm狭缝

OSC-UA, DCL-UV/VIS-200
AvaSoft-FullAvaSoft-All

光源

AvaLight-DH-S-BAL

 

光纤

FCR-7UV200-2-ME
FC-UVIR600-2-ME

FC-UVIR200-2-ME

 

附件

FC-VFT-UVIR200 FC-VFT-UVIR600

 

 

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